1、半導(dǎo)體工業(yè)中MOCVD技術(shù)
2、特種燈(HID)開發(fā)與生產(chǎn)
3、微電子、激光及等離子焊
4、OLED/PLED開發(fā)與生產(chǎn)
5、鋰離子電池開發(fā)與生產(chǎn)
6、無(wú)機(jī)/有機(jī)化學(xué)研究
7、金屬鹵化物/金屬粉末/陶瓷粉末研究
8、納米材料研究
9、催化劑研究
10、YAG激光焊接


1、系統(tǒng)工作中真空泵應(yīng)保持開啟狀態(tài)。
2、當(dāng)箱內(nèi)氧氣濃度超出200PPM時(shí),應(yīng)通知設(shè)備維修人員進(jìn)行系統(tǒng)操作,否則會(huì)破壞水、氧凈化系統(tǒng)
3、在啟動(dòng)循環(huán)前做檢查,是否在進(jìn)行箱體情況或再生。如以上提及的操作正在進(jìn)行,禁止進(jìn)行循環(huán)。
4、:兩個(gè)凈化柱不可以同時(shí)再生。
A、再生前先保證雙人手套箱內(nèi)已被惰性氣體清洗干凈(H2O<200ppm)保證足夠的再生氣體供應(yīng)。再生氣體壓力為0.060.08mpa。
B、啟動(dòng)再生之前,請(qǐng)先確認(rèn)相應(yīng)的凈化柱循環(huán)已關(guān)閉。
C、再生過(guò)程需要24小時(shí),一旦執(zhí)行不能被斷開,再生開始后3-6小時(shí)通再生氣體注意再生氣的用量,適當(dāng)調(diào)整再生氣體的壓力,包證再生氣在這3小時(shí)的充足供應(yīng),第6小時(shí)后可以關(guān)閉再生氣源。
D、再生過(guò)程中真空泵不可以關(guān)閉,不要觸摸凈化柱的頂部,以防燙傷。
E、再生一旦意外終止,請(qǐng)保證12小時(shí)內(nèi)不能重新啟動(dòng)該凈化柱的再生和循環(huán)否則將損壞設(shè)備。
5、作業(yè)中應(yīng)注意保護(hù)作業(yè)手套不要被損壞。

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